Bearings for Equipment
各種装置用軸受

ジェイテクトグループの製品は、半導体製造に関わるあらゆる機械に使用されています。
高精度、耐食性などを兼ね揃えた製品で、半導体製造をサポートします。
前工程
Pretreatment Process
ウェハ製造工程Wafer Manufacturing Process ウェハ熱処理Heat Treatment System 成膜工程Film Froming Process ウェハ搬送装置Wafer Conveyance Device クリーン、真空対応のグリース単品、直動各種Linear Motion Bearings and Grease for Special Environments
前工程
Pretreatment Process
①フォトレジスト塗布
Photoresist Coating
②ウェハの切り出し
Cutting the Ingot
③ウェハの研磨
Wafer Polishing
④平坦化（CMP）
Flattening（CMP）
⑤ウェハ熱処理
Heat Treatment
成膜工程
Film Froming Process
⑥フォトレジスト塗布
Photoresist Coating
⑦露光
Exposure
⑧現像
Developing
⑨エッチング
Etching
⑩平坦化（CMP）
Flattening（CMP）
⑪イオン注入
Ion Implantation
⑫洗浄
Cleaning
⑬ウェハ搬送
Wafer Conveyance System 
後工程へ
Assembly and Testing Process
⑭電極形成
Electrode Formation
⑮検査
Inspection
⑯完成
Completion
ウェハ製造工程Wafer Manufacturing Process
平坦化（CMP）
Flattening（CMP）
耐食性、クリーン環境対応軸受
研磨具回転部と腐食液に接する部位では異なるタイプが採用されます
コロガードプロ
ベアリング®-SCHigh Corrosion Resistant Ceramic Bearings
極限の腐食環境に
強酸にも腐食されにくい炭化けい素セラミックスを用いています
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EXSEV®-EXEXSEV®-EX
グリースの潤滑性をクリーン・真空用途に
ふっ素系EXSEV®-EX（グリース）を封入しクリーン環境、真空環境に対応します
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ウェハ熱処理Heat Treatment System
熱処理成膜装置
Thermal Processing Film Formation Equipment
高温下でも潤滑可能な特殊仕様軸受
クリーンプロ®-RBHigh Temperature Clean Pro Bearings
260℃クリーン、真空対応
軸受の転がり面に耐熱性のあるふっ素高分子被膜をコーティングすることで高温での使用を実現します
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EXSEV®-PNEXSEV®-PN
300℃対応の優れた耐熱性
耐熱性の固体潤滑剤によって高温真空環境に適応
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EXSEV®-WSEXSEV®-WS
耐熱 350℃と耐荷重性を両立
耐熱性・耐荷重性が要求される真空環境に適応します
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EXSEV®-XT EXSEV®-XT
350℃でもグリース潤滑で長寿命
高温環境への対応と、グリース封入軸受の潤滑性能の高さの両立を実現
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成膜工程Film Froming Process
フォトレジスト塗布装置
Photoresist Coating Equipment
クリーン環境でのグリース潤滑軸受
EXSEV®-EXEXSEV®-EX
グリースの潤滑性をクリーン・真空用途に
ふっ素系EXSEV®-EX（グリース）を封入しクリーン環境、真空環境に対応します
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露光装置
Exposure Equipment
クリーン仕様や、非磁性材料であるセラミックスを採用した軸受で対応します
Newクリーンプロ®-PRClean Pro Bearings
クリーンルーム、真空機器などに
ふっ素高分子被膜による潤滑で低発じん・低アウトガスを実現します
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組合せセラミック軸受Hybrid Ceramic Bearings
絶縁、高速用途に
転動体の質量が軽くなり、高速回転用途にも適します
組合せセラミック軸受
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非磁性組合せセラミック軸受
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エッチング装置
Etching Equipment
耐食性に優れたセラミックスやステンレス鋼を採用した軸受で対応します
コロガードプロ
ベアリング®-MDCorrosion Resistant Hybrid Ceramic Bearings
塩水、薬液などの環境に
耐食性に優れ、クリーン・真空環境にも適応
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組合せセラミック軸受Hybrid Ceramic Bearings
絶縁、高速用途に
転動体の質量が軽くなり、高速回転用途にも適します
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ターボ分子ポンプ用
タッチダウン軸受Touchdown Bearing for Turbo Molecular Pump
緊急停止時（タッチダウン）の急加速にオイルレスで耐久性を確保します
お問合せ
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洗浄機
Cleaning Equipment
耐食性に優れたセラミックスやステンレス鋼を採用した軸受で対応します
コロガードプロ
ベアリング®-MDCorrosion Resistant Hybrid Ceramic Bearings
塩水、薬液などの環境に
耐食性に優れ、クリーン・真空環境にも適応
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コロガードプロベアリング®-ZOCorrosion Guard Pro Bearing-ZO
耐食性と耐衝撃性の両立
軸受の材料にセラミックス（ジルコニア）を用い耐食性と、耐衝撃性を両立
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イオン注入装置
Ion Injection/ Sputtering Equipment
真空中で不純物の発生が少ないクリーンな軸受です
EXSEV®-EXEXSEV®-EX
グリースの潤滑性をクリーン・真空用途に
ふっ素系EXSEV®-EX（グリース）を封入しクリーン環境、真空環境に対応します
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Newクリーンプロ®-PRClean Pro Bearings
クリーンルーム、真空機器などに
ふっ素高分子被膜による潤滑で低発じん・低アウトガスを実現します
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クリーンプロ®-RBHigh Temperature Clean Pro Bearings
260℃クリーン、真空対応
軸受の転がり面に耐熱性のあるふっ素高分子被膜をコーティングすることで高温での使用を実現します
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EXSEV®-MOEXSEV®-MO
300℃対応の基本仕様
二硫化モリブデンによる固体潤滑で高温環境に適応
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EXSEV®-PNEXSEV®-PN
300℃対応の優れた耐熱性
耐熱性の固体潤滑剤によって高温真空環境に適応
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EXSEV®-XT EXSEV®-XT
350℃でもグリース潤滑で長寿命
高温環境への対応と、グリース封入軸受の潤滑性能の高さの両立を実現
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電極形成装置
Electrode Formation Equipment
セラミック軸受で高温・真空環境に対応します
総玉形セラミック軸受Full Complement Ceramic Ball Bearings
超高温 800℃
総セラミックによって高温対応だけでなく、耐食、非磁性・絶縁・真空へ適応
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セラミック軸受Ceramic Bearings
軸受の材料にセラミックス（窒化けい素）を用い、ふっ素高分子によって潤滑します。おもに真空・腐食性環境などに用います。
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検査装置
Inspection Equipment
検査に影響しない、非磁性の軸受が使用されます
非磁性組合せセラミック軸受Non-magnetic Hybrid Ceramic Bearings
ステンレスの非磁性対応
非磁性性能を持ちながら、低発塵、低アウトガスを実現します
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セラミック軸受Ceramic Bearings
軸受の材料にセラミックス（窒化けい素）を用い、ふっ素高分子によって潤滑します。おもに真空・腐食性環境などに用います。
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ウェハ搬送装置Wafer Conveyance Device
ウェハ搬送装置
Wafer Conveyance Device
クリーン環境対応の低発塵、長寿命の薄肉型軸受です
組合せセラミック軸受Hybrid Ceramic Bearings
絶縁、高速用途に
転動体の質量が軽くなり、高速回転用途にも適します
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コロガードプロ
ベアリング®-MDCorrosion Resistant Hybrid Ceramic Bearings
塩水、薬液などの環境に
耐食性に優れ、クリーン・真空環境にも適応
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Kシリーズ組合せ
セラミック軸受K Series Full Complement Combined Ceramic Bearing
超薄肉形軸受のクリーン仕様
真空用途にも適応します
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ウェハ搬送装置用軸受ユニットBearing Unit for Wafer Transfer Equipment
軸受ユニット互換品で装置メンテナンスをサポートします
お問合せ
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EXSEV®-XT EXSEV®-XT
350℃でもグリース潤滑で長寿命
高温環境への対応と、グリース封入軸受の潤滑性能の高さの両立を実現
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クリーン、真空対応のグリース単品、直動各種 Linear Motion Bearings And Grease for Special Environments
EXSEV®-EX(グリース)EXSEV®-EX (Grease)
低蒸気圧で化学的に安定しているふっ素グリース
パーフルオロオクタン酸(PFOA)フリーで環境負荷の小さいふっ素グリースを提供しています。
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特殊環境用リニア玉軸受Linear Ball Bearing for Special Environments
コンパクトな無限直線運動ベアリング
EXSEVシリーズの素材の構成で様々な特殊環境に対応
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特殊環境用リニアウェイLinear Way for Special Environments
容易に高精度な直線運動が可能
EXSEVシリーズの素材の構成で様々な特殊環境に対応
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※「EXSEV（エクゼブ）」「コロガードプロベアリング」「クリーンプロ」はジェイテクトの登録商標です。