晶圆制造工艺
对晶圆制造设备的贡献
各种设备用轴承
各种设备用轴承
Bearings for Equipment
捷太格特集团的产品用于与半导体制造相关的各种机械。
我们以兼具高精度和耐腐蚀性的产品支持半导体制造。
预处理
PRETREATMENT PROCESS
晶圆制造工艺
WAFER MANUFACTURING PROCESS
晶圆热处理
HEAT TREATMENT SYSTEM
成膜工艺
FILM FORMING PROCESS
晶圆传送装置
WAFER CONVEYANCE DEVICE
清洁、真空兼容润滑脂、各种直线运动轴承
Linear Motion Bearings and Grease for Special Environments
预处理
PRETREATMENT PROCESS
①光刻胶涂层
Photoresist Coating
②切割锭
Cutting the Ingot
③晶圆抛光
Wafer Polishing
④扁平化
Flattening
⑤晶圆热处理
Heat Treatment
成膜工艺
FILM FORMING PROCESS
⑥光刻胶涂层
Photoresist Coating
⑦曝光
Exposure
⑧现象
Developing
⑨蚀刻
Etching
⑩扁平化
Flattening
⑪离子注入
Ion Implantation
⑫清洗
Cleaning
⑬晶圆传送
Wafer Conveyance System
组装和测试过程
ASSEMBLY AND TESTING PROCESS
⑭电极形成
Electrode Formation
⑮检查
Inspection
⑯完成
Completion
晶圆制造工艺
WAFER MANUFACTURING PROCESS
化学机械研磨设备
CMP Equipment
耐腐蚀性、清洁环保轴承
研磨工具旋转部和腐蚀液接触的部位采用不同的类型。
高耐腐蚀轴承
（Corrosion Guard Pro）-SC
High Corrosion Resistant Ceramic Bearings
适用于腐蚀性极强的环境。由碳化硅陶瓷制成，即使在强酸下也能耐腐蚀。
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EXSEV®-EX
EXSEV®-EX
含有氟基 EXSEV®-EX（润滑脂），可增强清洁和真空应用润滑脂的润滑性，使其与清洁和真空环境兼容。
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晶圆热处理
HEAT TREATMENT SYSTEM
热处理成膜设备
Thermal Processing Film Formation Equipment
即使在高温下也能润滑的特殊规格轴承
专业净化-RB
High Temperature Clean Pro Bearings
261℃洁净，兼容真空,通过在轴承的滚动表面涂覆耐热含氟聚合物涂层，可以在高温下使用。
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EXSEV®-PN
EXSEV®-PN
耐热性优异，兼容301℃,采用耐热固体润滑剂，适应高温真空环境。
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EXSEV®-WS
EXSEV®-WS
同时实现351℃的耐热性和负载能力。适用于需要耐热、耐负载的真空环境。
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EXSEV®-XT
EXSEV®-XT
即使在351℃的情况下，也能通过脂润滑实现长寿命,兼顾高温环境和润滑脂填充轴承的高润滑性能。
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成膜工艺
FILM FORMING PROCESS
光刻胶涂布设备
Photoresist Coating Equipment
清洁环境中的油脂润滑轴承
EXSEV®-EX
EXSEV®-EX
将具有清洁·真空用途的氟类EXSEV ®-EX (润滑脂) 封入轴承中，可对应清洁环境、真空环境。
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曝光设备
Exposure Equipment
采用清洁规格和非磁性材料陶瓷的轴承。
新专业净化-PR
Clean Pro Bearings
通过含氟聚合物涂层对无尘室、真空机器等进行高分子镀膜润滑，实现低尘、低排气。
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组合陶瓷轴承
Hybrid Ceramic Bearings
滚动体质量较轻，适合绝缘和高速应用，适合高速旋转应用。
组合陶瓷轴承
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非磁性组合陶瓷轴承
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蚀刻设备
Etching Equipment
与耐腐蚀性优异的陶瓷或不锈钢轴承兼容。
高耐腐蚀轴承
（Corrosion Guard Pro）-MD
Corrosion Resistant Hybrid Ceramic Bearings
在盐水、化学溶液等环境中具有优异的耐腐蚀性，适用于洁净和真空环境。
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组合陶瓷轴承
Hybrid Ceramic Bearings
滚动体质量较轻，适合绝缘和高速应用，适合高速旋转应用。
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涡轮分子泵触地轴承
Touchdown Bearing for Turbo Molecular Pump
无油，确保紧急停止（触地保护）期间突然加速时的耐用性
洗衣机
Cleaning Equipment
与耐腐蚀性优异的陶瓷或不锈钢轴承兼容。
高耐腐蚀轴承
（Corrosion Guard Pro）-MD
Corrosion Resistant Hybrid Ceramic Bearings
在盐水、化学溶液等环境中具有优异的耐腐蚀性，适用于洁净和真空环境。
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高耐腐蚀轴承（Corrosion Guard Pro）-ZO
Corrosion Guard Pro Bearing-ZO
兼具耐腐蚀性和耐冲击性 采用陶瓷（氧化锆）作为轴承材料，可同时实现耐腐蚀和耐冲击性。
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离子注入机
Ion Injection/ Sputtering Equipment
在真空中产生很少杂质的清洁轴承。
EXSEV®-EX
EXSEV®-EX
将具有清洁·真空用途的氟类EXSEV ®-EX (润滑脂) 封入轴承中，可对应清洁环境、真空环境。
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新专业净化-PR
Clean Pro Bearings
通过含氟聚合物涂层对无尘室、真空机器等进行高分子镀膜润滑，实现低尘、低排气。
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专业净化-RB
High Temperature Clean Pro Bearings
261℃洁净，兼容真空,通过在轴承的滚动表面涂覆耐热含氟聚合物涂层，可以在高温下使用。
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EXSEV®-MO
EXSEV®-MO
《301℃基本规格》,采用二硫化钼固体润滑，适应高温环境。
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EXSEV®-PN
EXSEV®-PN
耐热性优异，兼容301℃,采用耐热固体润滑剂，适应高温真空环境。
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EXSEV®-XT
EXSEV®-XT
即使在 351℃ 的情况下，也能通过脂润滑实现长寿命,兼顾高温环境和润滑脂填充轴承的高润滑性能。
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电极形成设备
Electrode Formation Equipment
使用陶瓷轴承兼容高温和真空环境
满装型陶瓷球轴承
Full Complement Ceramic Ball Bearings
超高温800°C
全陶瓷不仅适用于高温，而且适用于耐腐蚀，非磁性，绝缘，真空
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陶瓷球轴承
Ceramic Bearings
轴承材料采用陶瓷（氮化硅），由氟聚合物提供润滑。主要用于真空和腐蚀性环境。
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检验设备
Inspection Equipment
采用无磁轴承，不影响检查
非磁性组合陶瓷轴承
Non-magnetic Hybrid Ceramic Bearings
不锈钢非磁性兼容,实现低粉尘产生和低排气，同时保持非磁性性能。
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陶瓷球轴承
Ceramic Bearings
轴承材料采用陶瓷（氮化硅），由氟聚合物提供润滑。主要用于真空和腐蚀性环境。
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晶圆传送装置
WAFER CONVEYANCE DEVICE
晶圆传送装置
Wafer Conveyance Device
发尘量少、寿命长、适合洁净环境的薄壁轴承。
组合陶瓷轴承
Hybrid Ceramic Bearings
滚动体质量较轻，适合绝缘和高速应用，适合高速旋转应用。
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高耐腐蚀轴承
（Corrosion Guard Pro）-MD
Corrosion Resistant Hybrid Ceramic Bearings
在盐水、化学溶液等环境中具有优异的耐腐蚀性，适用于洁净和真空环境。
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K系列超薄壁球轴承
K Series Full Complement Combined Ceramic Bearing
《超薄壁轴承清洁规范》也适用于真空应用。
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晶圆传送设备用轴承单元
Bearing Unit for Wafer Transfer Equipment
我们支持使用兼容的轴承单元进行设备维护。
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EXSEV®-XT
EXSEV®-XT
即使在 351℃ 的情况下，也能通过脂润滑实现长寿命,兼顾高温环境和润滑脂填充轴承的高润滑性能。
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清洁、真空兼容润滑脂、各种直线运动轴承
Linear Motion Bearings and Grease for Special Environments
EXSEV®-EX（润滑脂）
EXSEV®-EX (Grease)
具有低蒸气压和化学稳定性的氟素润滑脂
提供不含全氟辛酸 (PFOA) 且对环境影响较小的氟润滑脂。
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特殊环境用直线运动球轴承
Linear Ball Bearing for Special Environments
紧凑型无限直线运动轴承,EXSEV系列的材料成分支持各种特殊环境。
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特殊环境用直线导轨
Linear Way for Special Environments
轻松进行高精度直线运动
EXSEV系列的材料成分支持各种特殊环境。
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※ "EXSEV" 是捷太格特的注册商标。
